真空泵转换能量时，总有一小部分损耗转化为热量，这些热量必须通过电机外壳和周围介质不断散发。这种散热过程称为冷却。而且真空泵工作时会产生一定的热量。如果不及时散热，时间长了真空泵内部零件会受到影响甚至损坏。这会影响风扇的正常运转，甚至损坏风扇。
真空泵是否能有大量的油污染。事实上，真空泵在许多国家被广泛使用行业。特别是，当气镇油封机械清除可冷凝蒸汽的能力不够，或者使用的溶剂会使泵油变质并影响其性能，或者真空系统不允许油污染。所以真空泵不能有大量的油污。
真空泵的冷却方案有很多，根据机体不同部位的发热量确定合适的冷却方案。比如真空泵工作压力高，温度上升快，高，普通真空泵需要循环水降温，保护风扇不受损坏。
真空泵的散热和冷却技巧有四个要点：
1、空气冷却：即级间或两级泵吸入的空气被压缩后通过综合吸收和相位差的组合消声器传递。
2、转子的内部冷却：为了使真空泵在更高的压差下工作，可以采用更有效的冷却方法，即将输送到子用循环的油冷却，在真空机组轴的两端分别打入油孔和油径轴头，然后通过转子内壁从另一端排出
3、转子油膜冷却：这种冷却方法是在真空泵入口处接一根油管，用均匀滴下的冷却油带走转子的热量。
4、冷却：真空泵由于输送和压缩气体而产生热量，这些热量必须从转子传递到外壳并消散。
